세션 트랙

We06D

열 및 물질전달(III)

We06D-1

플라즈마 원자층 증착법에서 플라즈마 바이어싱이 금속산화물 유전막의 전기적/열적 특성에 미치는 영향

김윤진(숙명여자대학교), 김용준(서울대학교), 정명길, 기나영, 이현주, 신지현, 박우성(숙명여자대학교)

We06D-2

Process optimization of silicon growth in a planetary CVD reactor using CFD-RSM combined method

Zaher Ramadan, 임익태, 박찬우(전북대학교)

We06D-3

계면 열전달 매칭 기반 온도감응 열메타물질 열기능 제어

경대현, 이현민, 최원준(고려대학교)