세션 트랙

Th14A

MEMS/NEMS/제조 및 기타

Th14A-1

도핑된 마이크로/나노 구조 실리콘의 상향식 레이저 제조

백승현, 강봉철(국민대학교)

Th14A-2

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정질 TiO₂ 박막의 저온 증착 및 MIM 캐퍼시터 성능 분석

이재형, 고도현, 신정우, 이성제, 강완구, 한정환, 안지환(서울과학기술대학교)

Th14A-3

기계적 강도가 향상된 전도성 신축성 중공 섬유

배성현, 무하메드 아즈말, 이유진, 백승현(성균관대학교)

Th14A-4

Femtosecond laser surface texturing to improve coating ability between polymer material and biodegradable metal

박재호, 손영주, 이선희, 엄승훈, 김유찬, 옥명렬(한국과학기술연구원), 선정윤(서울대학교), 한형섭, 전호정(한국과학기술연구원)